光学表面瑕疵/光洁度检测系统OSMS-4000主要用于玻璃元件、光学表面、手机盖板、晶圆等瑕疵、灰尘、划痕、凹坑等检测，检测光学元件尺寸可达200mm×200mm，检测精度5.0μm/10.0μm可选。系统由监测相机以及镜头、高均匀性平板光源、XY电控移动平台、支撑调整架及外壳、自动检测软件等组成。系统具有整块玻璃自动扫描拼接检测、指定区域实时检测等工作模式，具有性能稳定，测试精度高，效率速度快，漏检率低，操作简单，使用方便的优点。

功能性能和指标

• 具备整块玻璃自动扫描拼接检测功能；

• 具有指定区域实时检测功能；

• 具有灰尘及划痕自动提取显示功能；

• 具备激光指示灰尘区域功能

• 可检测玻璃样品尺寸：200mm×200mm；

• 样品固定方式：四个边角固定；

• 样品测量厚度范围：0.1mm~10mm；

• 照明方式：透射照明/反射照明可切换

• 具备灰尘，缺点尺寸检测功能；

• 检测精度：5.0/10.0μm可更换；

• XY平台移动范围：≧200mm；

• 体积：720×780×1000mm；

• 重量：≦120Kg；

• 工作温度：20℃±10℃；

• 存储温度： -40~+50℃；

• 相对湿度：≤85%；

光学表面瑕疵/光洁度检测系统OSMS-4000检测效果如下：

玻璃灰尘检测结果

200×200mm玻璃瑕疵分布图