盒厚均匀干涉法测量-激光主要用于获取样品的干涉图，以便进一步反演样品间隙厚度。系统由高准直激光光源、监测相机以及镜头、可调整支架等组成。具有光源性能稳定，测试精度高，操作简单，使用方便的优点。